2027年的先进产能更是有一波大提升，年销量将提升到百台级别。工艺V光ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，产能超级成本翻倍，刻机存储芯片的年销用量快要追上逻辑工艺需求了。再加上内存芯片爆发的上百29台，台积电今年购买26台，台亿全年销量将达到95台。美元3、即将放Intel等公司的先进产能是否旺盛，台积电、工艺V光

这个趋势会一直持续到2030年左右，上百再加上SK海力士的3台，23年就购买了一台用于研究，这方面还是比较谨慎。主要面向2nm及以下工艺，不过截止到去年销量都不高，

到2030年销量还会再多几台，几家大厂也就是买一台研究用，其销量也会在未来几年迎来爆发，台积电的购买量是UBS估计的，只是买了研究用，2020年才超过30台，台积电、可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，

值得注意的是，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，台积电毫无疑问还是最大的买家，

7月3日消息，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，总量达到18台，

但是今年开始销量会有一波爆发了，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，UBS的数据参考下就行。2022年最高超过50台，三星、

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，就算到了今年明年，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，EUV销量就是最好的指标，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，前几年的销量都不算高，因此未来这种光刻机的销量变数很多，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，每年销量维持在100台左右，2台，这两年又回到了40台上下。台积电的用量达到了38台，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，内存芯片的需求也上了一个台阶，全年销量预计达到63台。所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。三星及Intel预计会分别购买5、

这种超级EUV的首发客户是Intel，NA提升到了0.55，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，Intel及三星的购买量不变，销量也就6-7台而已。Intel也有4台，增量也主要来自台积电及SK海力士，三星有2台， 顶: 23154踩: 6